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电池硅片石墨舟石英舟扩散上下料机(9000-12000/h)

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型号︰QT-100H-SYSX
品牌︰启天科技
原产地︰中国
单价︰CNY ¥ 560000 / 台
最少订量︰1 台

 共有 20 相关信息  
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产品描述

电池硅片石墨舟石英舟扩散上下料机主要技术参数:

1.外形尺寸:石英舟下料机宽1.6 米X 长3.0 米X 高2.5 米
2.生产效率:8000 -12000片/小时
3.碎片率:≤0.3/1000(原碎片除外)
4.工位数:双工位
5.设备适用156×156 (±0.5mm) (6 英寸)硅片
适用蓝具为100 层石英舟载具.50 片塑料花篮。

电池硅片石墨舟石英舟扩散上下料机目地:

1.将石英舟内的硅片通过双吸盘机构吸取出,然后装进
塑料篮具内,以及把塑料花篮内的硅片通过双吸盘机构吸取
出,然后装进石英舟内。以供下一道工序使用。
2.适用尺寸:156×156 (±0.5mm)厚度为160~280μm 的方形
硅片。
3.操作方式:全自动

付款方式︰TT / LC / DP / DA )
产品图片






 
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